可对应不同厂牌的Sputter进出料，适用12寸及以下的Wafer Frame或是方形Frame，可衔接Sputter前后段工艺进行托盘物料搬运
♦适合各类托盘，可进行Wafer Frame的位置编程与缓存
♦采用高精度4/6轴机械手搭配视觉进行物料移载
♦下料段可缓存10片产品
♦兼容方形Frame ******尺寸250X250mm
♦具备离子风刀清洁机制
| 项目 | 规格描述 |
|---|---|
| UPH | ＞60pcs |
| 抓铁圈/carrier方式 | 真空负压吸取/电爪/气缸 |
| 放置精度 | ±0.05mm |
| 支持铁圈尺寸 | ≤250x250mm方形铁圈 |
| 扫码成功率 | >99.99% |
| 支持清洁功能 | 离子风刀清洁，真空吸附 |
